特种石墨 - 电子半导体用碳石墨 | 西格里碳素在中国


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特种石墨




	电子半导体用碳石墨

西格里碳素集团特种石墨业务部——电子应用为半导体技术、太阳能技术、发电站、热处理及能源技术提供涵盖广泛的各类高纯石墨元件、CFC碳碳复合材料（SIGRABOND）与石墨毡（SIGRATHERM）。我们针对以下列出的所有应用领域开发出相应牌号，并根据客户的需求提供各类尺寸。可提供的各种石墨材料类型，包括等静压石墨、挤压及振动成型石墨、CFC碳碳复合材料（SIGRABOND）、保温材料及涂层。对每一种类型我们均可提供最高纯度的产品。
半导体材料与石英
	生产高纯度石英玻璃制品所需石墨电极与发热体拉制光纤用石墨发热体及保护罩多晶硅沉积用石墨材料及石墨电极用于拉制单晶硅、锗与III/IV族化合物单晶的高纯石墨元件、碳碳复合材料（SIGRABOND）、石墨软毡与硬毡（例如石墨基座、发热体、保护罩及导电元件）切割单晶硅棒用石墨垫用于区熔半导体材料的石墨舟皿用于感应加热锗氧化物的石墨舟皿用于熔化高纯金属或半导体材料用石墨、C/C碳碳复合材料坩埚（舟皿）
高端石墨元件
	带SIC涂层的石墨基座（桶状、盘状及单片式），用于ASM, GEMINI、LPE及其它OEM 厂商的硅外延设备上液相外延用石墨舟皿 (LPE) 各类MOCVD过程用带SIC 涂层的石墨基座各类过程如RTP、低压化学汽相沉积（LPCVD）用单片式石墨基座离子注入用石墨电极、电弧室及屏蔽罩等离子蚀刻用石墨电极（栅格）电子束蒸发（EBE）用石墨坩埚衬钎焊及玻璃金属封接用石墨烧结模
热能管理
	电话系泊部位用热沉元件
能源技术与管理
	生产太阳能级别硅材料（CZ、Bridgeman及其它）用石墨坩埚、结晶器与CZ生长元件可充式锂电池用石墨阳极高压开关设备用石墨喷嘴

　

　

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