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Elektronische
Anwendungen
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Graphite Specialties liefert ein breites Spektrum an
Bauteilen aus Reinstgraphit, carbonfaserverstärktem Kohlenstoff (SIGRABOND ) und Filz (SIGRATHERM ) für die Halbleiter- und Solartechnik,
Wärme- und Energietechnik.
Wir haben für alle unten erwähnten Anwendungen spezielle Marken
in allen erforderlichen Abmessungen entwickelt und bieten alle Arten von
Graphitmaterial an - isostatischer Graphit, extrudierter und vibrationsverdichteter
Graphit, CFC, Filz, Beschichtungen. Alle Produkte können in höchster
Reinheit geliefert werden.
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Halbleitermaterialien und Quarz
Elektroden
und Heizelemente für die Herstellung von hochreinen Quarzglasprodukten
- Heizelemente und Abschirmungen zur Herstellung von
Lichtleitfasern
- Halbzeugstäbe und Graphitelektroden für
die Abscheidung von polykristallinem Reinstsilizium
- Bauteile aus hochreinem Graphit, CFC (SIGRABOND
)
und Filz (SIGRATHERM ) zum Monokristallziehen von Silizium,
Germanium und III/IV Halbleiterverbindungen, z. B. Tiegel (Suszeptoren),
Heizelemente, Wärmeabschirmungen, Stromanschlüsse,
etc.
- Sägeunterlagen aus Kohlenstoff und Graphit
zum Trennen von monokristallinen Stäben
- Graphitboote für das Zonenschmelzen von Halbleiterwerkstoffen
- Graphitboote für das Reduktionsglühen
von Germaniumoxid
- Tiegel und Boote aus Graphit und CFC als Schmelzbehälter
für hochreine Metalle oder Halbleitermaterialien
Elektronische Bauteile
SiC-beschichtete
Barrel-, Pancake- und Single wafer-Suszeptoren für ASM,
Gemini, LPE und verschiedene andere Silizium-Epitaxiereaktoren
- Graphitboote für die Flüssigphasenepitaxie
(LPE)
- SiC-beschichtete Graphitsuszeptoren für verschiedene
MOCVD-Prozesse
- Single wafer-Suszeptoren für verschiedene Prozesse,
z. B. Schnellaufheizverfahren (RTP), Niederdruck-Gasphasenbeschichtung
(LPCVD), etc.
- Elektroden, Ionenquellen und Abschirmungen für
die Ionenimplantation
- Graphitelektroden für das Plasmaätzen
- Tiegel für die Elektronenstrahlverdampfung
(EBE)
- Löt- und Glaseinschmelzformen für die
Herstellung von Halbleitergehäusen
Telekommunikation
- Kühlkörper für Telephonstationen
Energietechnik und Power Management
Schmelzbehälter,
Giessformen und CZ Kristallziehteile für die Aufbereitung
von Silizium für die Solartechnik (CZ, Bridgeman und andere)
- Anoden für aufladbare Lithium-Ionen Batterien
- Düsen für Hochspannungsschalter
Für weitere Informationen kontaktieren Sie
uns bitte.
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