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GRAPHITE SPECIALTIES  
 

Elektronische Anwendungen


Graphite Specialties liefert ein breites Spektrum an Bauteilen aus Reinstgraphit, carbonfaserverstärktem Kohlenstoff (SIGRABOND) und Filz (SIGRATHERM) für die Halbleiter- und Solartechnik, Wärme- und Energietechnik.

Wir haben für alle unten erwähnten Anwendungen spezielle Marken in allen erforderlichen Abmessungen entwickelt und bieten alle Arten von Graphitmaterial an - isostatischer Graphit, extrudierter und vibrationsverdichteter Graphit, CFC, Filz, Beschichtungen. Alle Produkte können in höchster Reinheit geliefert werden.

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  Kundenservice
  Literatur


Halbleitermaterialien und Quarz
  • Elektroden und Heizelemente für die Herstellung von hochreinen Quarzglasprodukten
  • Heizelemente und Abschirmungen zur Herstellung von Lichtleitfasern
  • Halbzeugstäbe und Graphitelektroden für die Abscheidung von polykristallinem Reinstsilizium
  • Bauteile aus hochreinem Graphit, CFC (SIGRABOND) und Filz (SIGRATHERM) zum Monokristallziehen von Silizium, Germanium und III/IV Halbleiterverbindungen, z. B. Tiegel (Suszeptoren), Heizelemente, Wärmeabschirmungen, Stromanschlüsse, etc.
  • Sägeunterlagen aus Kohlenstoff und Graphit zum Trennen von monokristallinen Stäben
  • Graphitboote für das Zonenschmelzen von Halbleiterwerkstoffen
  • Graphitboote für das Reduktionsglühen von Germaniumoxid
  • Tiegel und Boote aus Graphit und CFC als Schmelzbehälter für hochreine Metalle oder Halbleitermaterialien

Elektronische Bauteile
  • SiC-beschichtete Barrel-, Pancake- und Single wafer-Suszeptoren für ASM, Gemini, LPE und verschiedene andere Silizium-Epitaxiereaktoren
  • Graphitboote für die Flüssigphasenepitaxie (LPE)
  • SiC-beschichtete Graphitsuszeptoren für verschiedene MOCVD-Prozesse
  • Single wafer-Suszeptoren für verschiedene Prozesse, z. B. Schnellaufheizverfahren (RTP), Niederdruck-Gasphasenbeschichtung (LPCVD), etc.
  • Elektroden, Ionenquellen und Abschirmungen für die Ionenimplantation
  • Graphitelektroden für das Plasmaätzen
  • Tiegel für die Elektronenstrahlverdampfung (EBE)
  • Löt- und Glaseinschmelzformen für die Herstellung von Halbleitergehäusen

Telekommunikation
  • Kühlkörper für Telephonstationen

Energietechnik und Power Management
  • Schmelzbehälter, Giessformen und CZ Kristallziehteile für die Aufbereitung von Silizium für die Solartechnik (CZ, Bridgeman und andere)
  • Anoden für aufladbare Lithium-Ionen Batterien
  • Düsen für Hochspannungsschalter


Für weitere Informationen kontaktieren Sie uns bitte.